Projekt

Drucksensorchip mit hoher Langzeitstabilität (DumBo)

Bei hochpräzisen Drucksensoren ist die Langzeitstabilität entscheidend. Sie wird durch die Montage des Drucksensorchips in das Gehäuse und die Änderungen der Montagespannungen beeinflusst. Untersucht wurden Lösungen, die ein Durchgreifen dieser Spannungen auf den Sensor verhindern oder kompensieren.

Projekt

Großflächig gedünnte Strahlungsdetektoren (LAT)

Durch das Abdünnen des Chipbereiches während der Waferfertigung wurde die Möglichkeit geschaffen, von bis zu 100 Quadratzentimeter großen Strahlungsdetektoren auf Enddicken zwischen 50 und 200 µm abzudünnen. Dieses Vorgehen ist flexibler und kostengünstiger als die Nutzung von Handling-Wafern.

Projekt

CMOS-kompatibler Thermopile-Infrarotsensor für Gasdetektion – TPS

Auf einer dünnen Siliziummembran wurden Polysilizium-Thermopile-Infrarotsensoren hergestellt. Eine CMOS-kompatible Waferlevel-Verpackung für Kappe-, Sensor- und Support-Wafer wurde realisiert. Die neuen Thermopile-Infrarotsensoren sind dadurch robust, kompakt, großserientauglich und kostengünstig.

Projekt

Qualitätssicherung für UV-härtbare Farben

Die Nutzung UV-härtbarer Farben und Lacke nimmt immer weiter zu. Durch das Projekt sind Kriterien definiert worden, die ein sicheres In-Verkehr-Bringen der Endprodukte sicherstellt.

Projekt

Kosteneffizientes, transport- und lagerfähiges 3D-Zellkultursystem

Ziel des Vorhabens war die Entwicklung eines Verfahrens zur zeit- und kosteneffizienten Herstellung standardisierter, transport- und lagerfähiger Assays für die Kultivierung von 12 bis 48 dreidimensionalen (3D) Zellverbänden.

Projekt

Modellierungskomponenten für Mensch-Technik-Systeme (Dynamicus/Modeller)

Mit den Projektergebnissen wird es möglich, Simulationsmodelle für Mensch-Technik-Interaktionen, die neben dem Menschen auch relevante Umgebungselemente und Interaktionsmodelle enthalten, automatisch zu generieren. Diese bilden die Grundlage für problemspezifische Simulationsanwendungen.

Projekt

Bondverfahren mittels integrierter reaktiver Metallschichten (iRMS)

Durch die Beherrschung von exothermen Reaktionen nanoskalierter Metallschichten steht eine Fügeverfahrenstechnologie für Mikroverbindungen zur Verfügung. Die technologischen Möglichkeiten für eine Produktion, im Sinne technologischer Parameterstabilität und Wirtschaftlichkeit wurden betrachtet.

Projekt

Neue lötbare Metallisierungsverfahren im Submikrometerbereich für Pixeldetektoren (µPixSol)

Durch eine Tiefenstrukturierung der Siliziumwaferoberfläche sollen nach deren Metallisierung Senken für kleine Lotkugeln zum besseren Platzieren und zur Verbesserung der Platziergenauigkeit beim Flip-Chip-Löten geschaffen werden. Dadurch werden die Lötkontakte bei Pixeldetektoren verkleinert.

Projekt

Technologieentwicklung zur zellselektiven Oberflächenfunktionalisierung von Zahnimplantaten mittels ultrakurzer Laserpulse im Piko- und Femtosekundenbereich - NanoDent

Es wurde eine photonische Technologie auf Basis ultrakurzer Laserpulse zur Oberflächenfunktionalisierung von Zahnimplantaten entwickelt, welche das Anwachsverhalten von Knochenzellen auf dem Implantat verbessert, um den klinischen Erfolg des Zahnimplantates zu optimieren.

Projekt

Prüfung von Alterungszuständen am Kühlmittelkühler in Kraftfahrzeugen

Ziel des Vorhabens war die Entwicklung, der Bau und die Erprobung einer Vorrichtung zur Simulation, Charakterisierung und Bewertung von verschiedenen Betriebszuständen (Alterungszuständen) für die Luftseite des Kühlmittelkühlers.