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  • Foto eines Wafers mit in diesem Forschungsvorhaben gefertigten n-in-p Pad Detektoren - © CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH

    Projekt

    Defektengineeringprozesse in p-Typ Silizium (DeSiD)

    Durch geeignete Prozessmodifikationen bei der Prozessierung von Strahlungsdetektorwafern wie Sauerstoffanreicherung, wurde die Strahlenresistenz von Detektoren für ionisierende Strahlung wesentlich erhöht. Die Wirksamkeit wurde an n-in-p Silizium-Testdetektoren durch Bestrahlungstests nachgewiesen.

    Forschungseinrichtung: CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH
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  • Demonstrator des MereDiD-Differenzdrucksensors - © CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH

    Projekt

    Medienresistenter Differenzdrucksensor - MeReDiD

    Primärziel des Projektes war die Entwicklung kostengünstiger Differenzdrucksensoren mit hoher Präzision, Stabilität und Zuverlässigkeit für den Einsatz in aggressiven und korrosiven Medien, beispielsweise in Abgasen von Verbrennungsmotoren oder in Hydraulikölen.

    Forschungseinrichtung: CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH
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  • Schliffpräparation einer Teststruktur zur Veranschaulichung des ARDE-Effekts. Breite Gräben werden bei gleicher Ätzzeit tiefer als schmale Gräben geätzt - © CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH

    Projekt

    Multifotodiode für hohe Auflösungen und Temperaturen (MuFoDi)

    Die Technologie des reaktiven Ionenätzens wurde in den Prozessablauf zur Herstellung von Fotodioden integriert. Damit lassen sich dreidimensionale Ätzstrukturen bis auf wenige Mikrometer an optisch aktive Strukturen heranbringen.

    Forschungseinrichtung: CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH
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  • Telemetrieuntersuchung in realer Prozessumgebung links DLC Plasmaanlage rechts Eingebautes Messsystem im Prozessraum der DLC Anlage

    Projekt

    Drahtlos abfragbare 2,45 GHz SAW-Temperatursensorsysteme (PLASTEL)

    Für drahtlos abfragbare 2,45 GHz SAW-Temperatursensorsysteme wurden Antennenkombinationen realisiert, die den Einsatz von SAW-Transpondern in sowohl groß- aber auch kleinvolumigen hochdynamisch betreibbaren Plasmabeschichtungsanlagen mit dynamischen dielektrischen Prozessbedingungen ermöglichen.

    Forschungseinrichtung: ITW e. V. Chemnitz, Institut für innovative Technologien
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  • Crossflowreaktor © VLB e.V.

    Projekt

    Crossflowreaktor

    Mit der entwickelten Cross-Flow-Filtrations-Technologie kann ein kontinuierliches und immobilisiertes Gärverfahren realisiert werden, welches die Vorteile einer kontinuierlichen Hauptgärung beinhaltet.

    Forschungseinrichtung: Versuchs- und Lehranstalt für Brauerei in Berlin (VLB) e.V.
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  • Simulation der Spanbildung bzw. plastische Verformung beim Bohren inklusive Wendeschneidplatte mit Spanleitstufe

    Projekt

    Keramikwerkzeuge auf Basis innovativer Laserbearbeitungstechnologien

    Im Rahmen des Projekts wurden Spanleitgeometrien für Keramikwendeschneidplatten entwickelt und in Zerspanungsuntersuchungen getestet. Für die Herstellung der Spanleitgeometrien mittels Laser wurden die entsprechenden Technologieparameter entwickelt.

    Forschungseinrichtung: Gesellschaft für Fertigungstechnik und Entwicklung Schmalkalden e. V. – GFE
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  • Drehbearbeitung von Nichteisenmetall mit einer beschichteten (Multifunktions-DLC-Schicht) Wendeschneidplatte

    Projekt

    Neuartige Multifunktions-DLC-Schichten

    Durch neu entwickelte Multifunktions-DLC-Schichten können im Vergleich zu scharfen Referenzwerkzeugen die abrasive (Verschleißmarkenbreite) und der adhäsive Verschleiß (Aufklebung) bei der Zerspanung von Nichteisenmetallen deutlich reduziert werden.

    Forschungseinrichtung: Gesellschaft für Fertigungstechnik und Entwicklung Schmalkalden e. V. – GFE
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  • Demonstratoraufbau mit Gehäuse und im Deckel eingeklebter Glasfaser - © CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH

    Projekt

    Single Photon Detector

    Durch geeignete thermische, elektrische und optische Kopplung eines supraleitenden Einzelphotonendetektors ist es nun möglich, die Detektoren in einem closed-cycle Kryostaten zu betreiben. Weiterhin wurde ein Aufbaukonzept zur weiteren Miniaturisierung entwickelt.

    Forschungseinrichtung: CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH
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  • Forschungsmuster OGM 200ccm

    Projekt

    Neuartige Leichtbau-Kraftquelle für Drehstromgeneratoren auf Basis von Oval-Zahnräder (OGM)

    Die direkte Kopplung eines Linearkrafterzeugers an ein rotierendes System mit hohen Drehmomenten erfolgt als Orbital-Getriebe mit Oval-Zahnrädern. Dadurch wird eine permanente Kraft auf die zentrale Abtriebsachse spielfrei realisiert, ohne deutliche asymmetrische Belastungen der Lager.

    Forschungseinrichtung: ITW e. V. Chemnitz, Institut für innovative Technologien
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  • Regenerationsmodul und dezentrale Trocknungsprozesse, © ILK Dresden

    Projekt

    Regenerationsmodul für dezentrale Trocknungsprozesse

    Projektziel war die Entwicklung eines Regenerationsmoduls für dezentrale flüssigsorptionsbasierte Trocknungsprozesse. Als „Herz“ eines modular aufgebauten Gesamtsystems ist es das Bindeglied zwischen mehreren vereinzelten Entfeuchtungsmodulen.

    Forschungseinrichtung: Institut für Luft- und Kältetechnik gGmbH – ILK Dresden
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