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  • Bild vom Demonstrator: ELISE-02-Modul. Als eine neue Applikation der Strahler Empfänger Baugruppe mit hermetischem Wafer Level Packaging - © CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH

    Projekt

    Planarisiertes Wafer Level Packaging für Mikrosensoren (PlanWLP)

    Wafer-Level-Bondverfahren erfordern extrem plane und saubere Grenzflächen. Durch übliche Halbleiterprozesse werden die Grenzflächen aber gestört. Das Projekt verfolgt dafür technologiekompatible Planarisierungsverfahren, die auch für solche Sensoren ein hermetisches Wafer-Level-Package ermöglichen.

    Forschungseinrichtung: CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH
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  • Infrarot Kamerabild einer gedruckten Infrarot Strahler Teststruktur © CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH

    Projekt

    Evaluierung druckbarer Materialsysteme für IR-Strahler (DruMa4IR)

    Das Projekt zielt auf die Entwicklung kostengünstiger Prozesse und druckfähiger Materialsysteme für die Herstellung thermischer Infrarotemitter ab, die insbesondere als Lichtquelle für optische Gassensoren Verwendung finden.

    Forschungseinrichtung: CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH
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  • Teststrukturen PIEZO für die Messung der Piezokoeffizienten - © CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH

    Projekt

    Berechnung und Verifikation von Piezokoeffizienten im Drucksensor-Design-Flow (Piezo)

    Die Kennlinienberechnung piezoresistiver Widerstandsbrücken differiert oftmals mit den an den realisierten Bauelementen gemessenen Kennlinien. Mittels lokaler quantenmechanischer Bestimmung der Piezo-Konstanten wurde diese Fehlerursache bewertet und eliminiert.

    Forschungseinrichtung: CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH
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  • Foto eines Demonstators mit Diamant Silizium Tandemdetektor © CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH

    Projekt

    UV-Visible Light-Hybridsensor aus Diamant und Silizium (UVPD)

    Es wurde eine Sandwich Anordnung, bestehend aus einem Detektor für hartes UV- Licht und einem davon unabhängigen Sensor für sichtbares Licht, entwickelt. Mittels neuartigem Verfahren wurde ein Hybridaufbau basierend auf einem polykristallinen Diamantdetektor über einer Silizium Fotodiode realisiert.

    Forschungseinrichtung: CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH
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  • Richtungssensitiver Quadrantendetektor ein Millimeter auf Protection Circuit Board - © CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH

    Projekt

    Richtungssensitiver Quadrantendetektor

    Ein winziger und einfach integrierbarer Mikrochip bestimmt die Lichteinfallsrichtung auf wenige Grad genau. Der monolithische Sensor basiert auf vier integrierten Fotodioden in einem 3D-strukturierten Siliziumsubstrat. Die neuentwickelte MEMS-Technologie erlaubt eine kostengünstige Fertigung.

    Forschungseinrichtung: CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH
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  • Folienherstellung mittels Runddüse am Doppelschneckenextruder, © Verein zur Förderung agrar- und stadtökologischer Projekte e. V. (A.S.P.)

    Projekt

    Material- und Verfahrensentwicklung für die industrielle Herstellung einer essbaren und vegetarischen Folienhülle

    Durch die Zusammenführung von Polysacchariden und Proteinen können mittels Heißextrusion essbare Folien hergestellt werden, die zum Beispiel zur Umhüllung von fleischfreien Wurstalternativen zum Einsatz kommen. Diese Folien können genau wie konventionelle Därme (Natur, Kollagen) verwendet werden.

    Forschungseinrichtung: Verein zur Förderung agrar- und stadtökologischer Projekte e. V. (A.S.P.)
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  • Fertig prozessierter Wafer mit Elektronendetektoren - © CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH

    Projekt

    Prozessentwicklung zur Herstellung von hochempfindlichen UV- und Elektronendetektoren

    Durch die Entwicklung von Detektoren mit flacher aktiver Zone lassen sich UV-Photonen und niederenergetische Elektronen mit hoher Quanteneffizienz detektieren. Dies ist für eine oberflächensensitive Messung im Rasterelektronenmikroskop unerlässlich.

    Forschungseinrichtung: CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH
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  • Rasterelektronenmikroskopaufnahme von photonischen Kristallstrukturen realisiert durch ein optimiertes anisotropes Ätzverfahren - © CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH

    Projekt

    Photonische Kristalle für die InfraRot Gasanalyse

    Es wurden photonische Kristalle (Siliziumlochstrukturen) entwickelt, die direkt in Infrarotemitter integriert werden können und eine Selektion der Wellenlänge ermöglichen, ohne Filter zu benötigen. Dies ermöglicht eine Miniaturisierung des Gesamtsystems und eine Kostenreduktion beim Aufbau.

    Forschungseinrichtung: CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH
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  • Detailaufnahme während des Sieb-3D-Druckprozesses, © Sächsisches Textilforschungsinstitut e. V.

    Projekt

    Verfahrenskombination von Sieb- und 3D-Drucktechnologie zur Herstellung kundenindividueller Produkte im Sporttech-Bereich

    Durch die Sieb-3D-Verfahrenskombination können kundenindividuelle Produkte in kleinen Losgrößen und Standardprodukte mit hoher Prozessgeschwindigkeit hergestellt werden. Nicht wechselnde Strukturen werden im Siebdruck gedruckt. Danach werden zusätzliche individuelle Strukturen im 3D-Druck ergänzt.

    Forschungseinrichtung: Sächsisches Textilforschungsinstitut e. V. – STFI
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  • Grafische Nutzerumgebung des Tools zur Betriebsoptimierung, © Institut für Luft- und Kältetechnik gGmbH

    Projekt

    Klimatechnik-Betriebsoptimierung mittels maschinellem Lernen

    Die Energieeffizienz vieler klimatechnischer Systeme erreicht im Betrieb nicht den bei der Planung prognostizierten Wert. Deshalb wurde ein Betriebsoptimierungs-Tool entwickelt, welches Methoden des maschinellen Lernens (ML) und Daten aus dem digitalen Gebäudemodell (BIM) nutzt.

    Forschungseinrichtung: Institut für Luft- und Kältetechnik gGmbH – ILK Dresden
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