Projekt
Langzeitresistente Silicium-Sensorchip-Abdeckungen für Intrakorporale medizinische Anwendungen (PassDru)
Der direkte Medienkontakt ist für siliziumbasierte Mikrosensoren aufwendig umzusetzen. Um die Miniaturisierung vollständig auszunutzen, wird der Korrosionsschutz auf Chipebene aufgebracht. Damit wird eine Anwendung in anspruchsvolleren Umgebungen auch ohne zusätzliche Schutzkonstruktionen möglich.
Forschungseinrichtung: CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH
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