Projekt

Miniaturisiertes Fluorimeter (MiniFLU)

Mit neuen optischen Bauelementen und der Möglichkeit einer (teil)automatisierten Montage wurde ein miniaturisiertes Fluorimeter zur Messung der optischen Leistung von Fluoreszenzsignalen entwickelt. Ein Funktionsnachweis des Labormusters wurde durch die Messung von Glukose in H2O nachgewiesen.

Projekt

Optisch auslesbarer Druck- und Temperatursensor (ODTS)

Es wurden komplexe Silizium-Strukturen entwickelt, die eine räumlich und thermisch entkoppelte optische auslesbare Temperatur- und Druckmessung unter Beachtung der ektromagnetischen Verträglichkeit gestatten. Dabei erfolgt eine statische und dynamische Auswertung der Signale in der Auswerteeinheit.

Projekt

Wärmestrahlungssensor – Sensor for Heat Radiation (SHeRa)

Zur Herstellung empfindlicher Infrarot-Strahlungsdetektoren wurde ein neues Konzept zur thermischen Isolation und mechanischen Stabilität in einem Silizium-Waferprozess umgesetzt. Diese Sensoren besitzen eine hohe optische Empfindlichkeit und können in rauhen Industrieumgebungen eingesetzt werden.

Projekt

Modulare Mikrotaster-Systeme (MMS)

Auf Basis von piezoresistiven Cantilevern wurde ein modulares Mikrotaster Baukastensystem aufgebaut, mit dem ein breites Spektrum an Messaufgaben im Bereich Gestaltsabweichungen abgedeckt werden kann. Dazu wurden wichtige Systemkomponenten und -technologien weiter- beziehungsweise neu entwickelt.

Projekt

Überlastfeste Differenzdrucksensoren (ÜlaDru)

Ziel war die Entwicklung von serienfertigungstauglichen Mikrosystemen mit piezoresistiven Sensorelementen zur Messung geringer Differenzdrücke mit extrem hoher Überlastfestigkeit. Komplexität und Herstellungskosten von Hochleistungsdrucksensoren sinken mit diesen Entwicklungen deutlich.

Projekt

Dünne Silizium Membrane für hochstabile und hochgenaue Silizium-Drucksensoren (dSiM)

Die Herstellung immer kleinerer, präziserer und hochstabiler Sensoren erfordert eine Reduktion der lateralen Membranabmessungen und damit der Membrandicke. Dabei müssen ein stabiler Druckbereich und die Empfindlichkeit aufrecht erhalten werden.

Projekt

3D-Mikrokraftsensor für die Qualitätssicherung und taktile Oberflächen (3D-Kraftsensor)

Für eine Reihe von Anwendungen ist neben der Messung der Normalkraft die Messung der Scherkraft erforderlich. Es wurde ein miniaturisierter 3D-Mikrokraftsensor entwickelt mit Signalverarbeitung. Die Sensoren werden zu einer Matrix kombiniert und bilden so eine kraftsensitive Platte.

Projekt

Defektengineering im Silizium zur Optimierung von Sensoreigenschaften (SiPlus)

Die Performance verschiedener Silizium-basierter Sensoren hängt entscheidend von Volumendefekten ab. Korrelationen zwischen Art und Konzentration der Defekten und den Sensoreigenschaften wurden mittels weiterentwickelter Analysemethoden nachgewiesen und ermöglichen gezielt technologische Maßnahmen.

Projekt

Strahlungsfester relativer Feuchtesensor (SRF)

Zur Überwachung bei Hochenergie-Experimenten und Anlagen, die einer hohen Strahlenexposition ausgesetzt sind, werden relative Feuchtesensoren eingesetzt. Dieser funktioniert auch zuverlässig in sehr hohen Magnetfeldern und ist zudem auch für sehr tiefe Taupunkttemperaturen ausgelegt.

Projekt

Mikro-Laser-Doppler Sensor (MiLD)

Ziel war die Entwicklung eines miniaturisierten Sensors für die Geschwindigkeitsmessung mit dem Laser-Doppler-Verfahren. Die bidirektionale Baugruppe enthält die benötigte(n) Laserquelle(n), Photoempfänger und Signalaufbereitung.