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  • REM Aufnahmen der tiefengeätzten Säulen (Detail: Säulenboden). Die Säulen sind mit Oxid (hier: weiß) passiviert und mit Polysilizium gefüllt. - © CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH

    Projekt

    Strahlenharte und kompakte Sensoren für hochenergetische Strahlung (Trident)

    3D-Detektoren bedingen aufgrund kleiner Driftwege der durch Strahlung generierten Ladungsträger hervorragende Eigenschaften hinsichtlich der Strahlenhärte und Ansprechzeiten. In diesem Projekt wurden die für die Herstellung solcher 3D-Detektoren notwendigen Prozessschritte entwickelt.

    Forschungseinrichtung: CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH
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  • Formteil zur Entformungskraftmessung

    Projekt

    Optimierung des Entformungsverhaltens von Formteilen aus Spritzgießwerkzeugen

    Ein spezieller messtechnischer Ansatz erlaubt jetzt eine qualitative und quantitative Analyse der Wirksamkeit der Beschichtungen auf Werkzeugkernen im Spritzgießprozess. Werkzeugverschleiß und Ausschussrate können infolgedessen erheblich minimiert sowie die Produktivität deutlich gesteigert werden.

    Forschungseinrichtung: INNOVENT e. V. Technologieentwicklung
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  • Nanobeschichtung mittels Flammenpyrolyse; links) Eindosierung des schichtbildenden Materials, Mitte) sichtliche Flammenfärbung durch Dotierung der Flamme mit schichtbildendem Material und rechts) STEM-Querschnittsaufnahme einer silikatisierten Oberfläche

    Projekt

    Dosiersystem zur Abscheidung von Metalloxidschichten (DosyMox)

    Mit der neuartigen Technologie für CCVD-Beschichtungsanlagen können diverse Metall- und Metalloxidverbindungen appliziert und funktionale Wirkungen auf Oberflächen erzielt werden. Die zeitlich und räumlich homogenere Eindosierung des schichtbildenden Materials erlaubt eine erhöhte Abscheiderate.

    Forschungseinrichtung: INNOVENT e. V. Technologieentwicklung
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  • Nanostrukturen im neuen E-Beam Resist © IDM e.V.

    Projekt

    Polymere Funktionsmaterialien für die Nahfeld-Lithographie

    Durch die gezielte Optimierung der chemischen Struktur kommerzieller Polymerer lassen sich maßgeschneiderte Materialien entwickeln. Sie bilden die Grundlage für einen kostengünstigen, hochauflösenden und höchstempfindlichen Resist für die Nanostrukturierung.

    Forschungseinrichtung: Institut für Dünnschichttechnologie und Mikrosensorik e. V. – IDM
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  • Durch trochoides Schruppfräsen hergestelltes Wellenbauteil aus Inconel 718, © GFE Schmalkalden e.V.

    Projekt

    PVD-Schichten zum Fräsen schwingungsanfälliger Bauteile

    Durch neuartige Werkzeugbeschichtungen wird beim Fräsen dünner Stege aus Inconel 718 der Standweg bei Verbesserung der Oberflächenqualität gegenüber bisher eingesetzten Schichten deutlich erhöht. Dies führt zu geringerer Rauheit der gefrästen Teile bei gleichzeitig reduzierten Kosten.

    Forschungseinrichtung: Gesellschaft für Fertigungstechnik und Entwicklung Schmalkalden e. V. – GFE
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  • Mittels Laserschärfen bearbeitete CVD-beschichtete Wendeschneidplatte

    Projekt

    Laserschärfen von PVD-, CVD- und diamantbeschichteten Zerspanungswerkzeugen

    Durch den Antenneneffekt kommt es bei der Beschichtung von Zerspanungswerkzeugen zu vergrößerten Schneidkantenradien. Um den Verschleißschutz der Beschichtungen zu nutzen und gleichzeitig eine scharfe Schneidkante zu erhalten wurde das Verfahren des Laserschärfens entwickelt.

    Forschungseinrichtung: Gesellschaft für Fertigungstechnik und Entwicklung Schmalkalden e. V. – GFE
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  • Drehbearbeitung von Nichteisenmetall mit einer beschichteten (Multifunktions-DLC-Schicht) Wendeschneidplatte

    Projekt

    Neuartige Multifunktions-DLC-Schichten

    Durch neu entwickelte Multifunktions-DLC-Schichten können im Vergleich zu scharfen Referenzwerkzeugen die abrasive (Verschleißmarkenbreite) und der adhäsive Verschleiß (Aufklebung) bei der Zerspanung von Nichteisenmetallen deutlich reduziert werden.

    Forschungseinrichtung: Gesellschaft für Fertigungstechnik und Entwicklung Schmalkalden e. V. – GFE
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  • Temperaturmessung mit Wärmebildkamera bei Spannungen 30 / 40 / 50 / 60 Volt

    Projekt

    Elektrisch leitfähige Silikonmembran

    Es wurden Siliconschichten entwickelt, die eine ausreichend hohe elektrische Leitfähigkeit aufweisen, um eine elektrisch induzierte Erwärmung zu realisieren. Sie beruht auf der Einarbeitung von Carbonnanotubes (CNT) separat sowie in Kombination mit Leitruß in pastösen Siliconmassen.

    Forschungseinrichtung: FILK Freiberg Institute gGmbH
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