Projekt

Multiphysikalischer Sensor für harsche Umweltbedingungen (BAT)

Es wurde ein elektrostatischer Aktor zur Ultraschallgenerierung, gekoppelt mit einem piezoresistiven Detektor als Basis für verschiede ultraschallbasierte Sensorsysteme entwickelt. Die Art der Herstellung gewährleistet eine sichere Funktion unter harschen Umgebungsbedingungen.

Projekt

Zweiebenenmetallisierung mit hoher Schichtdicke und flachen Kanten (DiDoMet)

Durch die Strukturierung flacher Kanten konnten Metallbahnen größerer Dicke und damit höherer Leitfähigkeit übereinander geführt werden. Dies ermöglicht Strahlungsdetektoren mit verkippten Leitbahnen.

Projekt

Doppelseitige, großflächig gedünnte Strahlungsdetektoren (DLAT)

Durch die Kombination aus nasschemischen Kavitäten-Ätzens und nicht-planarer Fotolithographie wurden doppelseitige, großflächig gedünnte Strahlungsdetektoren (DLAT) entwickelt.

Projekt

OLaf – Optimierung des Ultrakurzpuls-Laserabtrags durch flexible Strahlformung

Mittels optischer Methoden kann das Intensitätsprofil des Laserfokus beliebig variiert werden. Dadurch können beim Ultrakurzpuls-Materialabtrag die Rauheit um 30 Prozent reduziert und die Abtragrate verdoppelt werden. Parallele Bearbeitungsprozesse und komplexe 3D Mikroprofile werden ermöglicht.

Projekt

Gezieltes Wachstum synthetischer Diamant-Schichten für Drucksensoren (GeWaDiS)

Drucksensoren mit einer Passivierung aus synthetischem Diamant sind besonders medienresistent. Eine kostengünstige Herstellung der Diamantschichten in relevanten Sensorbereichen wurde mittels Adaption von Technologien der Mikrosystemtechnik zuverlässig erprobt.

Projekt

Technological Sensor Optimisation of Radiation Detectors (TENSOR)

Bias-Grids sind für den elektrischen Test von Pixeldetektoren notwendig. Besonders die Metall-Kontakte beeinträchtigen die Performance. Alternative Grid-Lösungen und Technologien wurden entwickelt und erprobt. Die Empfindlichkeit wurde verbessert, andere Parameter erfüllen die Zielspezifikationen.

Projekt

Großflächig gedünnte Strahlungsdetektoren (LAT)

Durch das Abdünnen des Chipbereiches während der Waferfertigung wurde die Möglichkeit geschaffen, von bis zu 100 Quadratzentimeter großen Strahlungsdetektoren auf Enddicken zwischen 50 und 200 µm abzudünnen. Dieses Vorgehen ist flexibler und kostengünstiger als die Nutzung von Handling-Wafern.

Projekt

Medienresistenter Differenzdrucksensor - MeReDiD

Primärziel des Projektes war die Entwicklung kostengünstiger Differenzdrucksensoren mit hoher Präzision, Stabilität und Zuverlässigkeit für den Einsatz in aggressiven und korrosiven Medien, beispielsweise in Abgasen von Verbrennungsmotoren oder in Hydraulikölen.

Projekt

2K-MikroThermoSilikon

Durch neue technische und technologische Lösungen beim 2K-Mikrospritzgießen wird eine Formteilverbindung Thermoplast – Silikon in einem Spritzgießzyklus ohne zusätzliche Montageschritte in einem 2K-Mikroformteil realisiert. Dabei werden kurze für das Mikrospritzgießen typische Zykluszeiten erreicht.

Projekt

Dünnschichttechnologie im Spritzgießwerkzeug (Thermo-KonSens)

Mit der Entwicklung einer technisch/technologischen Lösung zur direkten Beheizung der Kontaktfläche der Werkzeugwandung zur Kunststoffschmelze mittels Dünnschichtheizelementen wurde eine hochdynamische Temperierung im Spritzgießprozess für eine qualitativ hochwertige Konturabformung realisiert.