Projekt

Hardwaremodul auf Basis eines Mikrocontrollers zum Positionsencodern

Die Integration eines Mikrocontrollers zwischen dem Positionsmesssystem einer Maschinenachse und der Achssteuerung ermöglicht ein sehr schnelles ausgelesen von Positionsdaten. Hierdurch ist die Umsetzung von schnellen Positions Triggersignalen und temperaturabhängigen Korrekturtabellen möglich.

Projekt

Stick-Slip-Quantifizierung über die Reibkraft

Es wurde ein Algorithmus zur Quantifizierung von Stick-Slip in Reibkraftkurven entwickelt. Die Methode liefert vergleichbare Ergebnisse zur aktuellen Stick-Slip-Prüfung bei Leder und Kunstleder, ist aber für eine breitere Palette an Materialien und Belastungen anwendbar.

Projekt

Integrierte Reflektoren für MEMS IR-Strahler (IReMIS)

Durch eine neuartige Wafermontagelösung wurden MEMS IR Strahler entwickelt, in deren miniaturisiertes Chip Gehäuse ein Reflektor und eine Abdeckkappe integriert wurden. Dadurch sind die Chips hermetisch dicht und weisen eine verbesserte Strahldichte im Spektralbereich über sieben Mikrometer auf.

Projekt

Micro-Structure Transformation of Silicon (MSTS)

Ziel war es, für Basistechnologien zur Migration von sub-Mikrometer Si-Strukturen zunächst Einzelprozesse und darauf aufbauend Prozessmodule zu entwickeln. Als Demonstratoren wurden Strukturverrundungen, lokale SOI-Bereiche sowie absolut messende piezoresistive Drucksensoren angestrebt.

Projekt

Richtungssensitiver Quadrantendetektor

Ein winziger und einfach integrierbarer Mikrochip bestimmt die Lichteinfallsrichtung auf wenige Grad genau. Der monolithische Sensor basiert auf vier integrierten Fotodioden in einem 3D-strukturierten Siliziumsubstrat. Die neuentwickelte MEMS-Technologie erlaubt eine kostengünstige Fertigung.

Projekt

Prozessentwicklung zur Herstellung von hochempfindlichen UV- und Elektronendetektoren

Durch die Entwicklung von Detektoren mit flacher aktiver Zone lassen sich UV-Photonen und niederenergetische Elektronen mit hoher Quanteneffizienz detektieren. Dies ist für eine oberflächensensitive Messung im Rasterelektronenmikroskop unerlässlich.

Projekt

Messroutinen und optische Tests für Strahlungssensoren

Mit den Ergebnissen wird der zeitliche Messaufwand von Streifendetektoren reduziert und der Automatisierungsgrad der optischen Kontrolle erhöht. Der Aufwand sinkt um ein Vielfaches. Fehler werden kategorisiert und automatisch erkannt. Die neuen Verfahren senken die Kosten bei Entwicklungsarbeiten.

Projekt

Reduzierung von Methanemissionen an Messstellen im Gasnetz

Durch einen neuentwickelten katalytischen Brenner können die Treibhausgasemissionen an den Messstellen im Erdgasnetz um 90 Prozent gesenkt werden. Das Brennersystem könnte sich bei entsprechender CO2-Bepreisung innerhalb von zwei bis vier Jahren amortisieren.

Projekt

Temperaturdioden für Industrie 4.0 (Polytemp)

Temperaturdioden auf Basis von Polysilizium sind eine preisgünstige Alternative für Messungen bis 300 Grad Celsius. Es wurden Dioden realisiert, die im Bereich zwischen -40 Grad Celsius und +140 Grad Celsius eine kalibrationsfreie Messung ermöglichen.

Projekt

Bodensonde für die Messung der Radonkonzentration in der Bodenluft

Die entwickelte Bodensonde misst die Radonkonzentration dank hochauflösender Halbleitersensoren und integrierten Vorverstärkern mit hoher Auflösung. Um Störeinflüsse durch Luftfeuchte zu unterbinden, wurde ein Heiz-, Trocknungs- und Pumpsystem entwickelt und integriert.