Projekt

Integration von FBG-Sensoren in gewickelte Faserverbundbauteile

Die Integration von Faser-Bragg-Gittern-Sensoren (FBG) im Faserwickelverfahren ermöglicht die teilautomatisierte Fertigung von Faserverbundbauteilen mit integriertem Structural-Health-Monitoring (SHM). Damit ist eine permanente Überwachung der Faserverbundbauteile möglich.

Projekt

High Performance Wafer-Level Packaging für Industriesensorik

Durch die Entwicklung eines Chemisch-mechanischen Polierprozesses konnte die Fügung von hermetisch-dichten Sensoraufbauten auf Wafer-Level realisiert werden.

Projekt

Si-Detektoren mit flachem Eintrittsfenster

Das Ziel, hohe Empfindlichkeiten und hohe Energieauflösungen bei Halbleiter-Strahlungssensoren zu erreichen, wurde durch die Anwendung innovativer Dotiertechniken und angepasster Aktivierungsschritte erreicht.

Projekt

Entwicklung eines Messverfahrens zur Bestimmung von Schichtdicken im nm-Bereich mittels elektrischer Frequenzbereiche und deren Einfluss auf den Wechsel-stromwiderstand - EISEW

Auf Grundlage der Impedanzspektroskopie wurde ein Messverfahren entwickelt, um elektrisch leitende und elektrisch isolierende Beschichtungen kleiner 300nm zu analysieren und zu messen. Diese Schichten können hinsichtlich gestörtem Gefügeaufbau infolge Poren, Verschleiß u. ä. charakterisiert werden.

Projekt

Reversible schonende Mattierung von messproblematischen Werkstückoberflächen für optische Inline-Prüfungen in der automatisierten Serienfertigung

Durch eine neuartige Mattierungstechnik wird zeitweise eine exzellente Scanbarkeit heikler Werkstücke erreicht. Die reversible Beschichtungslösung ist flüchtig, frei von Pigmenten und Lösemittel sowie auf beliebige Oberflächen applizierbar und in Messzellen von Produktionslinien einsetzbar.

Projekt

Defekt-Engineering in Low Gain Avalanche Detektoren (DELGAD)

Defekt-Engineering-Maßnahmen in Low Gain Avalanche Detektoren (DELGAD) wurden bezüglich des Akzeptor-Removal-Phänomens erforscht und entwickelt. Dies erweitert den Einsatzbereich dieser LGADs deutlich.

Projekt

Texturierter Schwarzkörper MEMS IR-Strahler – Tesis

Entwickelt wurden Demonstratoren von MEMS-IR-Strahlern, deren aktive Heizzonen texturiert sind und somit effizienter abstrahlen. Im Spektralbereich von 7 bis 11 µm zeigen sie ähnlich hohe Strahlstärken wie bei sogenannten High-Performance-Strahlern, ohne deren komplexe Technologiekette zu verwenden.

Projekt

Drucksensor aus Silizium erhöhter Linearität (DS<110>)

Der Aufwand für die Kalibrierung einer siliziumbasierten Druckmesszelle vermindert sich stark durch lineare Zusammenhänge der abhängigen Größen. Die Linearität wird erhöht, wenn die Messbrücke aus identisch wirkenden piezoresistiven Messwiderständen aufgebaut wird.

Projekt

Hochflexible dehnungsmessende Sensorfaser

Im geplanten Vorhaben stand die Entwicklung hochflexibler Polymerfasern, welche einerseits dauerhaft mechanischen Belastungen bis zu einer Dehnung von e = 100 Prozent ausgesetzt werden können und mit denen man andererseits in der Lage ist, die dabei vonstattengehende Dehnung piezoresistiv zu messen.

Projekt

Quanteneffekte in MEMS-Sensoren

Auf der Grundlage quantenmechanischer Berechnungen werden die Piezokoeffizienten des Siliziums über einen weiten Stressbereich und in Abhängigkeit von der Temperatur und Dotierung bestimmt. Dadurch können die Kennlinien von MEMS-Bauelemente beispielsweise Drucksensoren genauer berechnet werden.