Projekt

Gezieltes Wachstum synthetischer Diamant-Schichten für Drucksensoren (GeWaDiS)

Drucksensoren mit einer Passivierung aus synthetischem Diamant sind besonders medienresistent. Eine kostengünstige Herstellung der Diamantschichten in relevanten Sensorbereichen wurde mittels Adaption von Technologien der Mikrosystemtechnik zuverlässig erprobt.

Projekt

Festelektrolyte und deren Applikation im Rolle-zu-Rolle-Verfahren

In dem Projekt gelang die Entwicklung eines festen Polymerelektrolyts für „Smart Windows“, elektrochrome (EC) Displays, EC-Transistoren sowie Lithium-Batterien mit Blick auf die Rolle-zu-Rolle-Technologie.

Projekt

Neuartiges Präzisions-Feinbohrwerkzeug für den Submikrometer-Bereich

Eine fein justierbare Präzisionsmechanik und ein absolutes Wegmesssystem ermöglichen die präzise, prozesssichere und schnelle Einstellung der radialen Schneidenposition eines Feinbohrwerkzeugs im Submikrometerbereich. Eine digitale Anzeige verbessert die Handhabung und vermeidet Einstellfehler.

Projekt

Integrierte piezoresistive Siliziumkraftsensoren (INKA)

Eine Technologie für die kompatible Integration von piezoresistivem Siliziumdrucksensor und hochpräzisem CMOS-Verstärker wurde entwickelt. Die neue Lösung bietet eine rauscharme und störungsfreie Signalverarbeitung, dabei werden die Eigenschaften des Kernsensors nicht beeinflusst.

Projekt

Sondermesselement für die Positionsbestimmung des Druckbildes

Durch die Neuentwicklung der Messelemente konnte die Anwendung des Passermesssystems LUCHS-auf weitere Druckverfahren ausgeweitet werden. Damit sind auch dort Messgenauigkeiten von bis zu 10 µm möglich.

Projekt

Technological Sensor Optimisation of Radiation Detectors (TENSOR)

Bias-Grids sind für den elektrischen Test von Pixeldetektoren notwendig. Besonders die Metall-Kontakte beeinträchtigen die Performance. Alternative Grid-Lösungen und Technologien wurden entwickelt und erprobt. Die Empfindlichkeit wurde verbessert, andere Parameter erfüllen die Zielspezifikationen.

Projekt

Medienresistenter Differenzdrucksensor - MeReDiD

Primärziel des Projektes war die Entwicklung kostengünstiger Differenzdrucksensoren mit hoher Präzision, Stabilität und Zuverlässigkeit für den Einsatz in aggressiven und korrosiven Medien, beispielsweise in Abgasen von Verbrennungsmotoren oder in Hydraulikölen.

Projekt

Multifotodiode für hohe Auflösungen und Temperaturen (MuFoDi)

Die Technologie des reaktiven Ionenätzens wurde in den Prozessablauf zur Herstellung von Fotodioden integriert. Damit lassen sich dreidimensionale Ätzstrukturen bis auf wenige Mikrometer an optisch aktive Strukturen heranbringen.

Projekt

Wärmestrahlungssensor – Sensor for Heat Radiation (SHeRa)

Zur Herstellung empfindlicher Infrarot-Strahlungsdetektoren wurde ein neues Konzept zur thermischen Isolation und mechanischen Stabilität in einem Silizium-Waferprozess umgesetzt. Diese Sensoren besitzen eine hohe optische Empfindlichkeit und können in rauhen Industrieumgebungen eingesetzt werden.

Projekt

Überlastfeste Differenzdrucksensoren (ÜlaDru)

Ziel war die Entwicklung von serienfertigungstauglichen Mikrosystemen mit piezoresistiven Sensorelementen zur Messung geringer Differenzdrücke mit extrem hoher Überlastfestigkeit. Komplexität und Herstellungskosten von Hochleistungsdrucksensoren sinken mit diesen Entwicklungen deutlich.