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  • Multifunktionsmodul mit Temperaturcontroller, Druckmessung und Heizersteuerung © ILK Dresden

    Projekt

    Elektronische Multifunktionsmodule für kryogene Anwendungen

    Es wurden multifunktionelle elektronische Module entwickelt, die es erlauben, eine große Anzahl und Vielfalt an Sensoren für kryogene Anwendungen auszulesen. Zudem wurden kalte Multiplexer (tiefkalte Elektronik) mit minimalem Verkabelungsaufwand entwickelt.

    Forschungseinrichtung: Institut für Luft- und Kältetechnik gGmbH – ILK Dresden
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  • Konfokales CMOS-Messsystem für transparente Schichten

    Projekt

    Effizientes in-process konfokales CMOS-Messsystem (CMOSTRA)

    Im Projekt wurde ein konfokales CMOS-Messsystem mit paralleler Messdatenverarbeitung auf FPGA-Hardwar für glänzende, mikrostrukturierte Oberflächen, transparente Schichten und transparente Mikrobauteile entwickelt.

    Forschungseinrichtung: ITW e. V. Chemnitz, Institut für innovative Technologien
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  • Schematische Darstellung für das entwickelte SmartFLU-Modul - © CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik

    Projekt

    Smartes, hoch miniaturisiertes Fluorimeter (SmartFLU)

    Für Fluorimeter wurden smarte, hoch miniaturisierte und hochauflösende Elektronik- und Optikkomponenten entwickelt. Basis bilden Fotodioden mit speziellen Antireflexschichten, neuartige dichroitische Strahlteiler, Bandpässe mit hoher Winkelakzeptanz und spezielle optisch-richtungsselektive Filter.

    Forschungseinrichtung: CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH
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  • Mehrkamera-Kalibrierung mit projizierten Markermuster und detektierten Markern im Versuchsstand

    Projekt

    Teilautomatisierte Kaltumformung in der Schiffsindustrie durch Integration optischer 3D-Messtechnik (3D-AHOI)

    Es wurde Messsystem zur Erfassung von Geometrie und Qualifizierung des Umformgrades großformatiger Dickbleche unter realen Umgebungsbedingungen für die teilautomatisierte Kaltumformung entwickelt. Ziel war eine effiziente Fertigung von mehrdimensional umgeformten Blechen für den maritimen Einsatz.

    Forschungseinrichtung: ITW e. V. Chemnitz, Institut für innovative Technologien
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  • Messaufbau für Hochtemperaturdioden © CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH

    Projekt

    Hochtemperatursensorik (HotSens)

    Es wurden siliziumbasierte Temperaturdioden entwickelt, die für den Hochtemperaturbereich bis maximal 300 Grad Celsius mit einer Einpunktkalibrierung verwendbar sind. Durch entsprechende Algorithmen kann auch die Temperatur kalibrationsfrei ermittelt werden.

    Forschungseinrichtung: CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH
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  • © CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH

    Projekt

    Tastsystem mit stark reduzierter Antastkraft (TARZAN)

    Ein miniaturisiertes Sensorsystem enthält zwei unabhängig arbeitende Kraft- und Wegsensoren und dient der Bestimmung der instrumentierenden Eindringhärte. Das Abbesche Komparatorprinzip bleibt gewahrt, ebenso die Konformität zu einschlägigen Industrienormen.

    Forschungseinrichtung: CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH
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  • REM Aufnahme der Membranstruktur einzelner Chips im Waferverbund - © CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH

    Projekt

    Miniaturisierter InfraRot-Emitter-Chip (MIREC)

    Mit einen plasmaunterstütztem Ätz-Prozess werden gleichzeitig eine dünne funktionale Membran und ein Bruchgraben für die folgende Chipvereinzelung erzeugt. Bei MEMS-IR-Emittern erhält man damit gegenüber dem Stand der Technik mehr als Faktor 4 kleinere Flächen und eine um Faktor 2 höhere Dynamik.

    Forschungseinrichtung: CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH
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  • Si-Wafer mit Membranstrukturen, lokal gewachsene synthetische Diamantschichten. Selektives Wachstum über Liftoff der Seeding-Schicht. Weitere Strukturierung der Diamantschicht nicht notwendig - © CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH

    Projekt

    Gezieltes Wachstum synthetischer Diamant-Schichten für Drucksensoren (GeWaDiS)

    Drucksensoren mit einer Passivierung aus synthetischem Diamant sind besonders medienresistent. Eine kostengünstige Herstellung der Diamantschichten in relevanten Sensorbereichen wurde mittels Adaption von Technologien der Mikrosystemtechnik zuverlässig erprobt.

    Forschungseinrichtung: CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH
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  • Ein vernetzter Elektrolytfilm.

    Projekt

    Festelektrolyte und deren Applikation im Rolle-zu-Rolle-Verfahren

    In dem Projekt gelang die Entwicklung eines festen Polymerelektrolyts für „Smart Windows“, elektrochrome (EC) Displays, EC-Transistoren sowie Lithium-Batterien mit Blick auf die Rolle-zu-Rolle-Technologie.

    Forschungseinrichtung: Thüringisches Institut für Textil- und Kunststoff-Forschung e. V. – TITK
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  • Elektronikkomponenten (links) und Prototyp Präzisions-Feinbohrwerkzeug (rechts)

    Projekt

    Neuartiges Präzisions-Feinbohrwerkzeug für den Submikrometer-Bereich

    Eine fein justierbare Präzisionsmechanik und ein absolutes Wegmesssystem ermöglichen die präzise, prozesssichere und schnelle Einstellung der radialen Schneidenposition eines Feinbohrwerkzeugs im Submikrometerbereich. Eine digitale Anzeige verbessert die Handhabung und vermeidet Einstellfehler.

    Forschungseinrichtung: Gesellschaft für Fertigungstechnik und Entwicklung Schmalkalden e. V. – GFE
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