Projekt
Verbesserung der Stabilität hybrid aufgebauter Silizium-Dehnungssensoren (SiDMESES)
Die Langzeitstabilität hybrid aufgebauter Sensoren mit Si-DMS wird verbessert durch verschiedene Maßnahmen wie Abbau mechanischer Montagespannungen, präziser Aufbau usw., um hohe Empfindlichkeit auf die Messgröße Druck und eine Unempfindlichkeit auf Änderung durch die Montagespannung zu erhalten.
Forschungseinrichtung:
CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH
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