Projekt
Entwicklung innovativer Fügetechnologien zum Aufbau hochstabiler Druckmessumformer (EFAH)
Damit kritische MEMS-Druckmessumformer im Gesamtsystem ihre Performance auch bei hohen Temperaturen beibehalten, wurde mittels innovativer Fügetechnologien die besonders anfällige Verbindung zwischen Wandlerkern und Prozessanschluss untersucht, validiert und der Prozessanschluss optimiert.
Forschungseinrichtung:
CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH
Öffnet Einzelsicht