Ziel der Entwicklung

Logo: Demonstrator des MereDiD-Differenzdrucksensors - © CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH
Demonstrator des MereDiD-Differenzdrucksensors - © CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH

Ziel war die Entwicklung kostengünstiger Differenzdrucksensoren mit hoher Präzision, Stabilität und Zuverlässigkeit für den Einsatz in aggressiven und korrosiven Medien.
Zusätzlich zur eigentlichen Bauelementeentwicklung wurde eine vergleichende Studie zur Differenzdruckmessung mit Hilfe zweier Absolutdruck- beziehungsweise Relativdrucksensoren durchgeführt. Im Zuge dessen wurden Fragestellungen der physischen Anordnung der Einzelsensoren sowie der elektronischen Signalverarbeitung untersucht.

Vorteile und Lösungen

Es wurden die technologischen Voraussetzungen geschaffen, alle relevanten Druckbereiche bis hin zu Hochdruckanwendungen mit einem geforderten Mindest-Berstdruck von 1000 bar abzudecken. Wesentlicher Vorteil gegenüber bisher am Markt verfügbaren Lösungen ist, dass die geforderte Medienkompatibilität durch eine technologische Lösung auf Basis angepasster Halbleiter-Prozessierung erfolgte und somit aufwendige und kostenintensive Aufbau- und Verbindungstechniken mittels Edelstahl-Trennmembran und Ölvorlage vermieden werden können.

Zielgruppe und Zielmarkt

Die Endkundenmärkte liegen im Bereich
• Automotive-Hydraulikfilterüberwachung
• Schiffbau-dto
• Automotive-Partikelfilterüberwachung
Die generellen Trends in diesem Bereich wie
• ein zunehmender Automatisierungsgrad sowie
• eine erhöhte Langzeitzuverlässigkeit
erfordern genau die Innovationspotenziale, die durch die Projektziele gehoben wurden.
Die Projektergebnisse werden durch die Akquise und Durchführung von kundenspezifischen Entwicklungsprojekten für industrielle Geräte- und Systemhersteller (Transferunternehmen) verwertet, deren Ergebnisse Sensorkomponenten sind, die in Produkte des Transferunternehmens einfließen. Im Anschluss können diese Komponenten je nach Kundenwunsch vom CiS auch für dieses Transferunternehmen in Kleinserie gefertigt werden. Das Transferunternehmen bietet dann seine Produkte im Endkundenmarkt an.